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博顿天璇HIT系列

中空阴极霍尔离子源

一种全自主研发的新型高端离子源,使用具有专利技术的中空阴极结构与 耗材,突破了传统灯丝霍尔离子源智能工作10小时的限制,连续工作时间大大提升到100小时以上,发热小、适应多种气体环境、无污染,可极大提升膜层的稳定性、附着力、致密度。
应用方向:

辅助沉积

低温冷镀

离子束清洗

离子活化

产品特点

  • 特殊合金材料

    “电子云”中和结构

    01
  • 热辐射低

    可实现低温冷镀工艺

    02
  • 无灯丝,产品污染少

    03
  • 维护便利

    性价比高,适合传统工业生产升级

    04
  • 连续工作时间长

    可达100小时以上,可实现连续长工艺

    05
  • 可靠性高

    工作环境适应性强

    06
  • 支持AI智能算法

    物联网模块,可实现在线诊断和在线操作

    07
  • 支持定制化

    支持个性化定制

    08

产品对比

技术参数

离子束微纳加工装备与工艺解决方案提供商

高性能离子源/离子束镀膜/离子束刻蚀/
离子束表面处理

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