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全自主研发

离子源驱动与控制系统

全自主研发的特种开关电源系统和逻辑控制系统,融合了各类工艺应用场景经验参数,为离子源操作提供稳定可靠的驱动与全面灵活的控制,支持一键启动自动模式与工程手动模式,可以在最苛刻的工艺环境中实现最佳的离子源工作性能,支持与镀膜机控制系统的无缝对接。

产品特点

  • 友好操作界面

    01
  • 控制模块化

    02
  • 集成供气系统

    03
  • 可定制控制方式

    04
  • 操作简单

    05
  • 实现量身定做的个性化操作

    06

离子束微纳加工装备与工艺解决方案提供商

高性能离子源/离子束镀膜/离子束刻蚀/
离子束表面处理

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