离子源物联网智能监控系统

设备集中管理:

管理设备的基本信息，包括设备型号、安装位置、使用客户等，实现设备接入注册及鉴权。

实时状态监控:

通过物联网通讯模组，将设备运行的实时数据按设计好的协议进行传输，实现PC端监控设备运行的实时参数。

远程控制指令：

通过物联网通讯模组，能够实现控制指令的远程下发从而可以为客户实现远程调试，以及优化。

离子束仿真模拟软件平台

全自主开发离子束模拟算法和仿真软件，根据不同的应用场景模拟出工艺对离子束流的需求，同时基于最优的离子束仿真结果，设计性能优异、符合应用需求的栅网结构，包括栅网面型、孔径大小、孔间距、孔形状、孔分布、栅网安装间距等。

全自主研发智能镀膜&溅射控制软件系统

- 革命性全新架构：ARM+ RT-OS+FPGA；

- 开放式模块化设计；

- 基于模糊控制的闭环自控软件算法；

- 友好的人机交互设计；

- 支持物联网和云计算架构。

宽光谱薄膜实时监控系统

光谱范围：400-1100nm   重复性：0.1-0.3%

控制类型：投射式监控   采样率：1kHz

膜层厚度误差：<0.1-0.3%   光谱热稳定性：<0.5nm(20-50°C)

光谱分辨率：<1.8nm

——————————————————————————————————

- 成膜控制精度0.1-0.3%；

- 专用微型光纤光谱仪:400-1100nm；

- 特殊结构高效光路设计，超高速光谱数据实时采集；

- 自主研发的智能光控核心算法；

- 支持薄层控制，在线误差校准，高成品率；

- 重复性好，尤为匹配非规整膜厚工艺；

- 搭配水晶膜厚仪使用。