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博顿天璇DISE系列
聚焦型直流离子源
应用方向:
离子束修形及抛光
离子束清洗
离子束刻蚀
离子束溅射
产品特点
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亚纳米表面修形
01
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能量大
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可靠性高
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无灯丝/污染少
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运行成本低
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支持可移动结构
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产品优势
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非接触式亚纳米级抛光修型
全程法向跟踪，去除精确，面型收敛更快
高精度面型矫正，RMS可达1/200λ
可实现面型RMS<3nm高精度抛光能力
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三轴或五轴控制系统
加工光学元器件形状有：平面、球面、非球面、自由曲面、离轴非球面等
角度补偿功能
加工光学元器件材料有：石英玻璃、微晶、超低膨胀玻璃（ULE)、KDP晶体、蓝宝石、硅、碳化硅、红外材料等。
技术参数
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