产品特点

• 可选配全自主的光控系统

  

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• 双离子束+等离子体复合沉积系统

  

  02

• 膜层粗糙度、致密度、牢固度、硬度等指标优异

  

  03

• 全工件架范围薄膜均匀度控制在±0.5%以内

  

  04

• 多面旋转靶材+行星工件盘结构

  

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• 全自主研发智能控制软件系统

  

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