
博顿天玑系列
IBS离子束溅射镀膜设备
应用方向:
激光
航天军工
生化医疗
泛半导体
车载光学
MEMS
光通讯
产品特点
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可选配全自主的光控系统
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双离子束+等离子体复合沉积系统
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膜层粗糙度、致密度、牢固度、硬度等指标优异
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全工件架范围薄膜均匀度控制在±0.5%以内
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多面旋转靶材+行星工件盘结构
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全自主研发智能控制软件系统
产品结构

工艺应用
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高抗损强激光膜
多带通窄带滤光片
超硬超光滑膜
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柔性透明导电膜
超低反射膜
超致密复合功能膜