产品用途 / 特点

• 直流 / 射频电源等灵活配置

  

  01

• 单/双晶圆传输腔室可自由组合

  

  02

• 高精度真空机械手臂

  LoadLock/EFEM/SMIF多种量产型高效自动化传输部件可选配

  

  03

• 适用于工艺实验研究、批量器件制备等

  

  04

• 可集成PVD/CVD/ALD/IBS等多种工艺功能模块

  腔体相互独立,不同工艺灵活切换

  

  05

• 可沉积金属、氧化物、无机物、陶瓷等多种功能薄膜

  可用于制备金属、半导体、绝缘体等多材料

  

  06

相关产品

博顿天玑系列

IBS离子束溅射镀膜设备

查看详情

博顿开阳OPIE系列

IAD离子束辅助蒸发光学镀膜设备

查看详情

博顿玉衡系列

IBE离子束刻蚀机

查看详情